线宽测量系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280048336.4

申请日：

2012-09-13

公开(公告)号：

CN104040323A

公开(公告)日：

2014-09-10

发明(设计)人：

乔轶迈克尔·W·多莱扎尔大卫·L·霍费尔特杰克·W·莱凯瑟琳·P·塔尔诺夫斯基

申请人：

申请人地址：

美国明尼苏达州

IPC主分类号：

G01N2189

IPC分类号：

G01B1125

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

梁晓广;关兆辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587401160 IPC(主分类):G01N 21/89 专利申请号:2012800483364 申请日:20120913
2016-08-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737356627 IPC(主分类):G01N 21/89 专利申请号:2012800483364 申请公布日:20140910
2014-09-10	公开	公开

共 50 条

[1]

线宽测量系统和线宽测量装置 [P].

范纪铭 ;

徐兵 ;

周畅 ;

陈跃飞 .

中国专利 :CN109211117A ,2019-01-15

[2]

一种线宽测量方法和线宽测量系统 [P].

曾赞廷 ;

褚忠涛 .

中国专利 :CN110057330A ,2019-07-26

[3]

线宽测量方法和线宽测量装置 [P].

王明望 .

中国专利 :CN113091673A ,2021-07-09

[4]

线宽测量方法和线宽测量装置 [P].

王明望 .

中国专利 :CN113091673B ,2024-07-16

[5]

线宽测量装置 [P].

深町哲昭 ;

大塚重信 ;

广川智 .

中国专利 :CN1844846A ,2006-10-11

[6]

线宽测量方法 [P].

野上大 .

中国专利 :CN1804545A ,2006-07-19

[7]

线宽测量机 [P].

郝朋飞 ;

陈焜 ;

李波 ;

区锦钊 ;

梁儒斌 .

中国专利 :CN306927242S ,2021-11-09

[8]

线宽测量方法 [P].

尹海洲 ;

朱慧珑 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN102437067A ,2012-05-02

[9]

薄膜线宽测量装置 [P].

刘红军 ;

陈星 ;

高海军 ;

刘军凯 ;

陈宝龙 ;

李宇 ;

马涛 .

中国专利 :CN302863846S ,2014-07-02

[10]

线宽测量仪 [P].

郑栋 .

中国专利 :CN306327561S ,2021-02-12

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