套刻对准标记及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310567482.4

申请日：

2013-11-14

公开(公告)号：

CN104635440A

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

王清蕴杨晓松

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720 H01L23544

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101613563009 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2013105674824 申请日:20131114
2017-08-25	授权	授权
2015-05-20	公开	公开

共 50 条

[1]

套刻对准标记、套刻误差测量方法 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

刘成成 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522209A ,2020-08-11

[2]

套刻对准标记及套刻测量方法 [P].

周绍顺 .

中国专利 :CN104777723B ,2015-07-15

[3]

套刻对准标记、套刻误差测量方法 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

刘成成 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522209B ,2025-04-29

[4]

套刻对准标记、套刻误差测量方法和套刻对准方法 [P].

刘成成 ;

韩春营 ;

马卫民 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522210B ,2020-08-11

[5]

套刻对准标记和套刻误差测量方法 [P].

韦斌 ;

杨莹莹 ;

曾暐舜 .

中国专利 :CN112420674A ,2021-02-26

[6]

套刻对准标记及其形成方法、套刻误差测量方法及装置 [P].

汪韦刚 ;

杨健 ;

迟张 ;

龚振 ;

薛晓凡 .

中国专利 :CN120834002A ,2025-10-24

[7]

套刻误差测量方法及套刻标记 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN108628107A ,2018-10-09

[8]

一种套刻对准标记及套刻偏移的测量方法 [P].

高钊 ;

林定群 ;

方震宇 .

中国专利 :CN119805874A ,2025-04-11

[9]

套刻标记及测量方法 [P].

刘华龙 ;

张祥平 .

中国专利 :CN117577633A ,2024-02-20

[10]

套刻标记及测量方法 [P].

刘华龙 ;

张祥平 .

中国专利 :CN117577633B ,2024-04-05

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