套刻对准标记及套刻测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510187315.6

申请日：

2015-04-20

公开(公告)号：

CN104777723B

公开(公告)日：

2015-07-15

发明(设计)人：

周绍顺

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101620067445 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2015101873156 申请日:20150420
2018-06-01	授权	授权
2015-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

套刻对准标记、套刻误差测量方法 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

刘成成 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522209A ,2020-08-11

[2]

套刻对准标记、套刻误差测量方法 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

刘成成 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522209B ,2025-04-29

[3]

套刻对准标记、套刻误差测量方法和套刻对准方法 [P].

刘成成 ;

韩春营 ;

马卫民 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522210B ,2020-08-11

[4]

套刻对准标记和套刻误差测量方法 [P].

韦斌 ;

杨莹莹 ;

曾暐舜 .

中国专利 :CN112420674A ,2021-02-26

[5]

套刻误差测量方法及套刻标记 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN108628107A ,2018-10-09

[6]

套刻对准标记及其测量方法 [P].

王清蕴 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN104635440A ,2015-05-20

[7]

一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记 [P].

万浩 ;

卢绍祥 ;

李伟 ;

郭芳芳 ;

陆聪 ;

轩攀登 .

中国专利 :CN114895532A ,2022-08-12

[8]

一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记 [P].

万浩 ;

卢绍祥 ;

李伟 ;

郭芳芳 ;

陆聪 ;

轩攀登 .

中国专利 :CN111162056B ,2022-06-03

[9]

一种套刻标记、套刻标记方法及套刻测量方法 [P].

杨国栋 ;

刘辉 ;

袁可 .

中国专利 :CN112034677A ,2020-12-04

[10]

一种套刻标记、套刻标记方法及套刻测量方法 [P].

杨国栋 ;

刘辉 ;

袁可 .

中国专利 :CN112034677B ,2024-02-06

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