一种套刻标记、套刻标记方法及套刻测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010979691.X

申请日：

2020-09-17

公开(公告)号：

CN112034677A

公开(公告)日：

2020-12-04

发明(设计)人：

杨国栋刘辉袁可

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

G03F142

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

朱艳

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G03F 1/42 变更事项:申请人变更前:合肥晶合集成电路有限公司变更后:合肥晶合集成电路股份有限公司变更事项:地址变更前:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号变更后:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
2020-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/42 申请日:20200917
2020-12-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记 [P].

万浩 ;

卢绍祥 ;

李伟 ;

郭芳芳 ;

陆聪 ;

轩攀登 .

中国专利 :CN114895532A ,2022-08-12

[2]

一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记 [P].

万浩 ;

卢绍祥 ;

李伟 ;

郭芳芳 ;

陆聪 ;

轩攀登 .

中国专利 :CN111162056B ,2022-06-03

[3]

一种套刻标记、套刻标记方法及套刻测量方法 [P].

杨国栋 ;

刘辉 ;

袁可 .

中国专利 :CN112034677B ,2024-02-06

[4]

套刻对准标记及套刻测量方法 [P].

周绍顺 .

中国专利 :CN104777723B ,2015-07-15

[5]

套刻误差测量方法及套刻标记 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN108628107A ,2018-10-09

[6]

套刻对准标记、套刻误差测量方法 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

刘成成 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522209A ,2020-08-11

[7]

套刻对准标记、套刻误差测量方法 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

刘成成 ;

黄守艳 .

中国专利 :CN111522209B ,2025-04-29

[8]

套刻标记及套刻误差的测量方法 [P].

陈鲁 ;

吕肃 ;

李青格乐 ;

江博闻 ;

张嵩 .

中国专利 :CN111508932A ,2020-08-07

[9]

套刻误差的测量方法及套刻标记 [P].

王俊雅 .

中国专利 :CN118099010A ,2024-05-28

[10]

套刻标记结构及套刻误差测量方法 [P].

江凡 .

中国专利 :CN120178617B ,2025-08-26

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