共 50 条
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套刻标记及测量方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410051922.9
申请日：
2024-01-15
公开(公告)号：
CN117577633A
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
刘华龙
张祥平
申请人：
合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
H01L23/544
IPC分类号：
H01L21/66
G03F9/00
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
杨明莉
法律状态：
授权
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-05 | 授权 | 授权 |
| 2024-03-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/544申请日:20240115 |
| 2024-02-20 | 公开 | 公开 |