对准图形及测量方法

被引：0

申请号：

CN202211593501.6

申请日：

2022-12-13

公开(公告)号：

CN115586714A

公开(公告)日：

2023-01-10

发明(设计)人：

黄小迪黄浩玮

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

杨明莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20221213
2023-01-10	公开	公开

共 50 条

[1]

对准图形、图形化方法及测量方法 [P].

盛薄辉 .

中国专利 :CN118507464A ,2024-08-16

[2]

对准测量方法 [P].

包巧霞 ;

邓贵红 ;

余志贤 .

中国专利 :CN105446090B ,2016-03-30

[3]

光学测量组件、对准测量装置及对准测量方法 [P].

陈跃飞 ;

徐兵 .

中国专利 :CN115542673A ,2022-12-30

[4]

对准误差测量方法及装置 [P].

李璟 ;

杨光华 ;

齐月静 ;

陈进新 ;

卢增雄 ;

折昌美 .

中国专利 :CN110824865A ,2020-02-21

[5]

对准误差测量方法 [P].

齐月静 ;

杨光华 ;

王宇 ;

李璟 ;

卢增雄 ;

齐威 ;

孟璐璐 .

中国专利 :CN110967948B ,2020-04-07

[6]

图形测量方法 [P].

姚淼红 ;

徐世斌 ;

高大为 ;

吴永玉 ;

任堃 ;

张馨元 ;

颜哲钜 ;

李翰轩 .

中国专利 :CN119493342A ,2025-02-21

[7]

对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置 [P].

陈跃飞 ;

徐兵 .

中国专利 :CN113048905B ,2021-06-29

[8]

对准偏差的测量方法 [P].

巫奉伦 ;

夏忠平 ;

王嘉鸿 .

中国专利 :CN115602564A ,2023-01-13

[9]

激光工艺对准测量方法 [P].

T·马蒂拉 .

中国专利 :CN103481662B ,2014-01-01

[10]

栅极线的对准测量方法 [P].

许波 ;

严萍 ;

杨川 ;

高晶 ;

喻兰芳 ;

丁蕾 .

中国专利 :CN107993952A ,2018-05-04

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