图形测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411783349.7

申请日：

2024-12-05

公开(公告)号：

CN119493342A

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

姚淼红徐世斌高大为吴永玉任堃张馨元颜哲钜李翰轩

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层（自主申报）

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李慧慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20241205
2025-02-21	公开	公开

共 50 条

[1]

对准图形及测量方法 [P].

黄小迪 ;

黄浩玮 .

中国专利 :CN115586714A ,2023-01-10

[2]

对准图形、图形化方法及测量方法 [P].

盛薄辉 .

中国专利 :CN118507464A ,2024-08-16

[3]

光罩图形测量方法及其系统 [P].

王何宁 ;

舒强 ;

张迎春 ;

王占雨 .

中国专利 :CN113325661A ,2021-08-31

[4]

外延图形漂移量的测量方法 [P].

张洪伟 .

中国专利 :CN101325168A ,2008-12-17

[5]

光罩图形测量方法及其系统 [P].

王何宁 ;

舒强 ;

张迎春 ;

王占雨 .

中国专利 :CN113325661B ,2024-12-03

[6]

测量图形及其制备方法、测量方法、装置、设备及介质 [P].

邱少稳 .

中国专利 :CN117369216A ,2024-01-09

[7]

测量方法 [P].

拉尔夫·比特 ;

卡米尔·黑费斯 ;

托马斯·赫纳 ;

马丁·基翁克 .

中国专利 :CN102628833A ,2012-08-08

[8]

测量方法 [P].

伍强 ;

刘畅 .

中国专利 :CN103456654B ,2013-12-18

[9]

测量方法 [P].

堀场圭人 ;

浦上太一 ;

石津诚二 ;

岩田和俊 ;

梅原将一 ;

岸本尚也 .

日本专利 :CN117367287A ,2024-01-09

[10]

测量方法 [P].

戴维·罗伯茨·麦克默特里 ;

德里克·马歇尔 .

中国专利 :CN105531563B ,2016-04-27

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