外延图形漂移量的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710041946.2

申请日：

2007-06-13

公开(公告)号：

CN101325168A

公开(公告)日：

2008-12-17

发明(设计)人：

张洪伟

申请人：

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

周赤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-12-17	公开	公开
2014-01-15	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101685703833 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2007100419462 变更事项:专利权人变更前:上海华虹NEC电子有限公司变更后:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
2010-02-17	授权	授权

共 50 条

[1]

外延生长后埋层图形漂移量的测量方法 [P].

吴建 ;

徐俊 ;

王大平 .

中国专利 :CN102788556A ,2012-11-21

[2]

外延层厚度的测量方法 [P].

严耿昕 ;

曹敏 ;

张凯元 ;

姜俏 .

中国专利 :CN119905415A ,2025-04-29

[3]

外延装置和外延过程中外延层的测量方法 [P].

方浩 ;

马志芳 ;

吴军 .

中国专利 :CN105470155A ,2016-04-06

[4]

火箭起飞实时漂移量主动测量方法和系统 [P].

高昕 ;

李治国 ;

师恒 ;

李希宇 ;

雷呈强 ;

胡蕾 ;

宗永红 ;

郑东昊 .

中国专利 :CN113865429A ,2021-12-31

[5]

一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法 [P].

徐新华 .

中国专利 :CN119133081A ,2024-12-13

[6]

一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法 [P].

徐新华 .

中国专利 :CN119133081B ,2025-04-08

[7]

图形测量方法 [P].

姚淼红 ;

徐世斌 ;

高大为 ;

吴永玉 ;

任堃 ;

张馨元 ;

颜哲钜 ;

李翰轩 .

中国专利 :CN119493342A ,2025-02-21

[8]

测量外延生长中图形畸变的方法 [P].

王雷 ;

黄玮 .

中国专利 :CN101350325A ,2009-01-21

[9]

一种波长漂移的测量方法和波长漂移的测量系统 [P].

罗超 ;

薛振峰 .

中国专利 :CN111431593B ,2020-07-17

[10]

偏心量测量方法 [P].

小椋和幸 ;

兴津昌广 ;

小川洋一 ;

高田球 .

中国专利 :CN102822656A ,2012-12-12

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