外延生长后埋层图形漂移量的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210305691.7

申请日：

2012-08-24

公开(公告)号：

CN102788556A

公开(公告)日：

2012-11-21

发明(设计)人：

吴建徐俊王大平

申请人：

申请人地址：

400060 重庆市南岸区南坪花园路14号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

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代理人：

法律状态：

实质审查的生效

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101378928691 IPC(主分类):G01B 11/02 专利申请号:2012103056917 申请日:20120824
2012-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

外延图形漂移量的测量方法 [P].

张洪伟 .

中国专利 :CN101325168A ,2008-12-17

[2]

测量外延生长中图形畸变的方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN101465306B ,2009-06-24

[3]

测量外延生长中图形畸变的方法 [P].

王雷 ;

黄玮 .

中国专利 :CN101350325A ,2009-01-21

[4]

测量外延图形偏移量的方法 [P].

王辉 .

中国专利 :CN120809593A ,2025-10-17

[5]

一种外延生长温度测量方法以及外延设备温度校准方法 [P].

王凯华 ;

许健 ;

严瑶 .

中国专利 :CN114481313A ,2022-05-13

[6]

快速检测外延图形漂移缺陷的方法 [P].

杨欣 ;

孙勤 .

中国专利 :CN101924052A ,2010-12-22

[7]

涂布后干涂量的测量方法 [P].

黄丹阳 .

中国专利 :CN103471955A ,2013-12-25

[8]

火箭起飞实时漂移量主动测量方法和系统 [P].

高昕 ;

李治国 ;

师恒 ;

李希宇 ;

雷呈强 ;

胡蕾 ;

宗永红 ;

郑东昊 .

中国专利 :CN113865429A ,2021-12-31

[9]

细胞生长状态的协同测量方法 [P].

宋正勋 ;

曲英敏 ;

曾俊智 ;

李丽丽 ;

刘劲云 ;

翁占坤 ;

王作斌 .

中国专利 :CN106841684A ,2017-06-13

[10]

外延层厚度的测量方法 [P].

严耿昕 ;

曹敏 ;

张凯元 ;

姜俏 .

中国专利 :CN119905415A ,2025-04-29

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