测量外延生长中图形畸变的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710093952.2

申请日：

2007-07-17

公开(公告)号：

CN101350325A

公开(公告)日：

2009-01-21

发明(设计)人：

王雷黄玮

申请人：

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

顾继光

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-01-21	公开	公开
2009-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-01-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101685159361 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2007100939522 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20131218
2009-10-21	授权	授权

共 50 条

[1]

测量外延生长中图形畸变的方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN101465306B ,2009-06-24

[2]

外延生长监控图形及监控方法 [P].

王辉 .

中国专利 :CN105870031A ,2016-08-17

[3]

外延生长后埋层图形漂移量的测量方法 [P].

吴建 ;

徐俊 ;

王大平 .

中国专利 :CN102788556A ,2012-11-21

[4]

虚拟现实显示设备图形畸变测量方法及校准方法 [P].

张志英 ;

邸贺亮 ;

陈赛华 .

中国专利 :CN110363736A ,2019-10-22

[5]

外延生长装置和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110685009A ,2020-01-14

[6]

虚拟现实显示设备图形畸变测量方法及校准方法 [P].

张志英 ;

邸贺亮 ;

陈赛华 .

中国专利 :CN110363736B ,2025-07-15

[7]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1812053A ,2006-08-02

[8]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1832110A ,2006-09-13

[9]

外延膜层的生长方法及外延膜层的生长装置 [P].

张磊 ;

董信国 ;

储郁冬 ;

贾超超 .

中国专利 :CN118685855A ,2024-09-24

[10]

外延图形漂移量的测量方法 [P].

张洪伟 .

中国专利 :CN101325168A ,2008-12-17

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