外延生长监控图形及监控方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610242891.0

申请日：

2016-04-19

公开(公告)号：

CN105870031A

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

王辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

丁纪铁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	公开	公开
2019-01-04	授权	授权
2016-09-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101678618780 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2016102428910 申请日:20160419

共 50 条

[1]

外延生长装置和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110685009A ,2020-01-14

[2]

测量外延生长中图形畸变的方法 [P].

王雷 .

中国专利 :CN101465306B ,2009-06-24

[3]

测量外延生长中图形畸变的方法 [P].

王雷 ;

黄玮 .

中国专利 :CN101350325A ,2009-01-21

[4]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1812053A ,2006-08-02

[5]

外延生长方法 [P].

朴性秀 .

中国专利 :CN1832110A ,2006-09-13

[6]

外延膜层的生长方法及外延膜层的生长装置 [P].

张磊 ;

董信国 ;

储郁冬 ;

贾超超 .

中国专利 :CN118685855A ,2024-09-24

[7]

用于外延生长的原位应力光学监控方法及系统 [P].

王建峰 ;

徐科 ;

朱建军 ;

杨辉 .

中国专利 :CN101092738A ,2007-12-26

[8]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[9]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[10]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25

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