用于外延生长的原位应力光学监控方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710023556.2

申请日：

2007-06-08

公开(公告)号：

CN101092738A

公开(公告)日：

2007-12-26

发明(设计)人：

王建峰徐科朱建军杨辉

申请人：

申请人地址：

215123江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号南大苏州研究生院B－513

IPC主分类号：

C30B2516

IPC分类号：

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

陶海锋

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101183765915 IPC(主分类):C30B 25/16 专利申请号:2007100235562 公开日:20071226
2008-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-12-26	公开	公开

共 50 条

[1]

用于外延生长的原位应力光学监控装置 [P].

王建峰 ;

徐科 ;

朱建军 ;

杨辉 .

中国专利 :CN201033809Y ,2008-03-12

[2]

光学监控系统 [P].

拉斯·纳约尔卡 ;

斯特芬·沃尔特 ;

奥利·古斯塔夫·约翰内森 ;

奥利弗·西蒙·马修斯 ;

明奇尔·申 .

英国专利 :CN121050080A ,2025-12-02

[3]

光学监控系统 [P].

赖建军 .

中国专利 :CN205453938U ,2016-08-10

[4]

光学监控系统 [P].

赖建军 .

中国专利 :CN105516676A ,2016-04-20

[5]

光学监控系统 [P].

拉斯·纳约尔卡 ;

斯特芬·沃尔特 ;

奥利·古斯塔夫·约翰内森 ;

奥利弗·西蒙·马修斯 ;

明奇尔·申 .

英国专利 :CN121050079A ,2025-12-02

[6]

外延生长监控图形及监控方法 [P].

王辉 .

中国专利 :CN105870031A ,2016-08-17

[7]

应力消除外延生长装置及外延生长方法 [P].

冯禹 ;

韩景瑞 ;

丁雄傑 ;

鲍勇年 ;

李锡光 ;

鲁青 ;

邓名毅 ;

叶兆杰 ;

陈俊豪 .

中国专利 :CN117822102A ,2024-04-05

[8]

用于SiC异质外延生长的原位刻蚀方法 [P].

吕红亮 ;

贾仁需 ;

王悦湖 ;

汤晓燕 ;

张玉明 .

中国专利 :CN104576320A ,2015-04-29

[9]

用于SiC异质外延生长的原位刻蚀方法 [P].

李百泉 ;

邱爱芹 .

中国专利 :CN105826173A ,2016-08-03

[10]

光学监控系统及放射治疗设备 [P].

闫浩 ;

苟天昌 .

中国专利 :CN221786313U ,2024-10-01

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