钛或钛合金用蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510068825.8

申请日：

2005-05-11

公开(公告)号：

CN1706986A

公开(公告)日：

2005-12-14

发明(设计)人：

高桥健一细见彰良

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23F138

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

陈昕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-08-12	授权	授权
2005-12-14	公开	公开

共 50 条

[1]

钛和/或钛合金的蚀刻液、使用该蚀刻液的钛和/或钛合金的蚀刻方法、以及使用该蚀刻液的基板的制造方法 [P].

内藤幸英 ;

松永裕嗣 ;

玉井聪 .

中国专利 :CN115428129A ,2022-12-02

[2]

钛层或含钛层的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

佐佐木辽 ;

高桥秀树 ;

横山大雅 .

中国专利 :CN110462799A ,2019-11-15

[3]

铜或铜合金用的蚀刻液、蚀刻方法及蚀刻液的再生管理方法 [P].

山根宪吾 ;

加藤真 ;

石田麻里子 .

中国专利 :CN102257180A ,2011-11-23

[4]

用于铜或铜合金的蚀刻液、蚀刻前处理液及蚀刻方法 [P].

加藤真 ;

丰田裕二 ;

中川邦弘 ;

石田麻里子 ;

金田安生 .

中国专利 :CN101910468B ,2010-12-08

[5]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

石崎隼郎 ;

大宫大辅 .

中国专利 :CN104233299B ,2014-12-24

[6]

钛或钛合金接触表面 [P].

热拉尔·盖松 ;

多米尼克·科万 ;

迪迪埃·吉夏尔 .

中国专利 :CN1829814A ,2006-09-06

[7]

一种环保钛合金蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

李初荣 ;

陈三名 ;

韦金宇 .

中国专利 :CN120041834B ,2025-07-08

[8]

一种环保钛合金蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

李初荣 ;

陈三名 ;

韦金宇 .

中国专利 :CN120041834A ,2025-05-27

[9]

铜／钛系多层薄膜用蚀刻液 [P].

安谷屋智幸 ;

冈部哲 ;

后藤敏之 ;

丸山岳人 ;

小林和树 ;

田中惠一 ;

中村涉 ;

纪藤贤一 ;

田中哲宪 .

中国专利 :CN102834547A ,2012-12-19

[10]

钛或钛合金熔液脱氧净化的方法 [P].

毛协民 ;

欧阳志英 ;

徐东 ;

李重河 ;

朱明 ;

刘宏葆 ;

周星 ;

康迪 ;

沈彬 ;

张蔷 ;

张金龙 .

中国专利 :CN100390309C ,2007-02-14

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