浮栅器件结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310365601.8

申请日：

2013-08-20

公开(公告)号：

CN104425625B

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

赵猛

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L29788

IPC分类号：

H01L21336 H01L21266

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-22	授权	授权
2015-03-18	公开	公开
2015-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101605752633 IPC(主分类):H01L 29/788 专利申请号:2013103656018 申请日:20130820

共 50 条

[1]

半浮栅器件及其形成方法 [P].

王文博 ;

卜伟海 ;

康劲 .

中国专利 :CN105336622B ,2016-02-17

[2]

浮栅器件及其方法 [P].

汉德瑞克斯·艾伯特·范德瓦吉特 ;

吉多·约瑟夫·玛丽安·多曼斯 ;

约翰·迪克·波特 ;

陶国桥 .

中国专利 :CN102376770A ,2012-03-14

[3]

屏蔽栅器件及其形成方法 [P].

颜树范 .

中国专利 :CN117976527A ,2024-05-03

[4]

半浮栅结构的形成方法 [P].

刘少雄 ;

王正宇 ;

刘郑红 ;

钱凯 .

中国专利 :CN119400696B ,2025-09-30

[5]

半浮栅结构的形成方法 [P].

刘少雄 ;

王正宇 ;

刘郑红 ;

钱凯 .

中国专利 :CN119400696A ,2025-02-07

[6]

浮栅及其形成方法、闪存单元及其形成方法 [P].

陈勇 .

中国专利 :CN104425226B ,2015-03-18

[7]

浮栅闪存器件结构及其浮栅的制作方法 [P].

金勤海 ;

曹亚民 .

中国专利 :CN101202311A ,2008-06-18

[8]

浮栅层的形成方法 [P].

张怡 ;

刘宪周 .

中国专利 :CN111341653B ,2020-06-26

[9]

闪存浮栅的形成方法 [P].

马开阳 ;

高毅 ;

左睿昊 ;

周婧涵 .

中国专利 :CN120166702A ,2025-06-17

[10]

浮栅结构的制备方法、浮栅结构及闪存器件 [P].

蔡亚顺 ;

李亮 .

中国专利 :CN118866670A ,2024-10-29

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