一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110530232.8

申请日：

2021-05-14

公开(公告)号：

CN113281267B

公开(公告)日：

2021-08-20

发明(设计)人：

陈修国盛胜庄锦峰刘世元

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G06F1714 G06F1716

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

夏倩

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-20	授权	授权
2021-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20210514
2021-08-20	公开	公开

共 50 条

[1]

双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置 [P].

薛小汝 ;

石雅婷 ;

李伟奇 ;

何勇 ;

郭春付 ;

张传维 .

中国专利 :CN116519605B ,2025-11-25

[2]

旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

陈超 ;

盛胜 ;

周军宏 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112378860B ,2021-02-19

[3]

一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法 [P].

李伟奇 ;

蒲俊鹏 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111142587B ,2020-05-12

[4]

基于双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的残余应力测量方法 [P].

崔长彩 ;

余家华 ;

陆静 ;

胡中伟 ;

黄辉 ;

徐西鹏 .

中国专利 :CN109764993A ,2019-05-17

[5]

单旋转补偿器型光谱椭偏仪参数校准方法和装置 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111122460B ,2020-05-08

[6]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[7]

一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构 [P].

张瑞 ;

林聪 ;

薛鹏 ;

张钦圭 ;

尚琰 ;

徐跃 ;

刘政杰 .

中国专利 :CN113188457B ,2021-07-30

[8]

一种双光弹调制器型穆勒矩阵椭偏仪的系统参数校准方法及设备 [P].

陈修国 ;

王逸夫 ;

岳航 ;

陈文龙 ;

刘世元 .

中国专利 :CN118624537A ,2024-09-10

[9]

穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统 [P].

李伟奇 ;

张传维 ;

颜凡 ;

陈军 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112345460B ,2024-03-22

[10]

穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统 [P].

李伟奇 ;

张传维 ;

颜凡 ;

陈军 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112345460A ,2021-02-09

← 1 2 3 4 5 →