旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011146847.2

申请日：

2020-10-23

公开(公告)号：

CN112378860B

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

陈修国陈超盛胜周军宏刘世元

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G06F1714 G06F1716

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

孔娜;李智

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20201023
2022-04-22	授权	授权
2021-02-19	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

盛胜 ;

庄锦峰 ;

刘世元 .

中国专利 :CN113281267B ,2021-08-20

[2]

旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103163077A ,2013-06-19

[3]

双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置 [P].

薛小汝 ;

石雅婷 ;

李伟奇 ;

何勇 ;

郭春付 ;

张传维 .

中国专利 :CN116519605B ,2025-11-25

[4]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[5]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[6]

快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法 [P].

陈修国 ;

王鹏 ;

张劲松 ;

石雅婷 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112378861A ,2021-02-19

[7]

一种双光弹调制器型穆勒矩阵椭偏仪的系统参数校准方法及设备 [P].

陈修国 ;

王逸夫 ;

岳航 ;

陈文龙 ;

刘世元 .

中国专利 :CN118624537A ,2024-09-10

[8]

穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统 [P].

李伟奇 ;

张传维 ;

颜凡 ;

陈军 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112345460B ,2024-03-22

[9]

穆勒矩阵椭偏仪的双旋转与高产率模式切换方法及系统 [P].

李伟奇 ;

张传维 ;

颜凡 ;

陈军 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112345460A ,2021-02-09

[10]

成像椭偏仪的系统参数校准方法 [P].

曾爱军 ;

胡仕玉 ;

袁乔 ;

顾帅妍 ;

谷利元 ;

黄惠杰 ;

贺洪波 .

中国专利 :CN104535500A ,2015-04-22

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