成像椭偏仪的系统参数校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410810540.6

申请日：

2014-12-19

公开(公告)号：

CN104535500A

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

曾爱军胡仕玉袁乔顾帅妍谷利元黄惠杰贺洪波

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-05	授权	授权
2015-04-22	公开	公开
2015-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609911022 IPC(主分类):G01N 21/21 专利申请号:2014108105406 申请日:20141219

共 50 条

[1]

旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103163077A ,2013-06-19

[2]

旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

陈超 ;

盛胜 ;

周军宏 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112378860B ,2021-02-19

[3]

一种椭偏仪全局参数校准方法及校准系统 [P].

王瑞 ;

郭春付 ;

石雅婷 ;

李伟奇 .

中国专利 :CN115728245B ,2024-11-01

[4]

一种成像椭偏仪测量系统成像校准方法及系统 [P].

陈修国 ;

钟海硕 ;

张传维 ;

刘世元 .

中国专利 :CN117451632A ,2024-01-26

[5]

一种椭偏仪系统参数的优化方法 [P].

刘世元 ;

杜卫超 ;

张传维 ;

谷洪刚 ;

李苏斌 .

中国专利 :CN103426031B ,2013-12-04

[6]

光谱椭偏仪 [P].

吕彤欣 ;

王笑寒 .

中国专利 :CN101467306B ,2009-06-24

[7]

单旋转补偿器型光谱椭偏仪参数校准方法和装置 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111122460B ,2020-05-08

[8]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[9]

一种椭偏仪优化校准方法 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345464B ,2024-11-29

[10]

一种双光弹调制器型穆勒矩阵椭偏仪的系统参数校准方法及设备 [P].

陈修国 ;

王逸夫 ;

岳航 ;

陈文龙 ;

刘世元 .

中国专利 :CN118624537A ,2024-09-10

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