一种椭偏仪优化校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011233878.1

申请日：

2020-11-06

公开(公告)号：

CN112345464B

公开(公告)日：

2024-11-29

发明(设计)人：

李伟奇陈军张传维郭春付

申请人：

武汉颐光科技有限公司

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖北路33号华工科技园·创新基地办公研发楼18栋4层5、6、7室

IPC主分类号：

G01N21/21

IPC分类号：

G01B11/06

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

高兰

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种椭偏仪优化校准方法 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345464A ,2021-02-09

[2]

一种椭偏仪微光斑校准方法 [P].

石雅婷 ;

薛小汝 ;

李伟奇 ;

郭春付 ;

何勇 ;

张传维 .

中国专利 :CN116045822B ,2025-11-25

[3]

一种椭偏仪系统参数的优化方法 [P].

刘世元 ;

杜卫超 ;

张传维 ;

谷洪刚 ;

李苏斌 .

中国专利 :CN103426031B ,2013-12-04

[4]

一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN107490547B ,2017-12-19

[5]

一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪的误差校准方法 [P].

雷兵 ;

高超 ;

翁剑宇 ;

曹晓昱 ;

张斌 ;

施建华 .

中国专利 :CN116930093B ,2024-01-26

[6]

成像椭偏仪的系统参数校准方法 [P].

曾爱军 ;

胡仕玉 ;

袁乔 ;

顾帅妍 ;

谷利元 ;

黄惠杰 ;

贺洪波 .

中国专利 :CN104535500A ,2015-04-22

[7]

一种光谱型椭偏仪椭偏角的校准方法 [P].

李锁印 ;

韩志国 ;

冯亚南 ;

梁法国 ;

赵琳 ;

许晓青 ;

吴爱华 .

中国专利 :CN106091952A ,2016-11-09

[8]

一种基于椭偏仪的光谱匹配校准方法 [P].

李伟奇 ;

颜凡 ;

陈军 ;

石雅婷 ;

郭春付 ;

张传维 .

中国专利 :CN114384017A ,2022-04-22

[9]

一种椭偏测量系统校准方法、系统及椭偏测量方法 [P].

张传维 ;

侯昭茹 ;

陈修国 .

中国专利 :CN118130390A ,2024-06-04

[10]

一种面向椭偏仪的测量一致性优化方法及装置 [P].

陈军 ;

江攀 ;

何勇 ;

杨成 ;

熊伟东 ;

李伟奇 ;

张传维 .

中国专利 :CN116223391B ,2025-10-17

← 1 2 3 4 5 →