一种基于椭偏仪的光谱匹配校准方法

被引：0

申请号：

CN202111466890.1

申请日：

2021-12-03

公开(公告)号：

CN114384017A

公开(公告)日：

2022-04-22

发明(设计)人：

李伟奇颜凡陈军石雅婷郭春付张传维

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区金融港四路10号6号楼（自贸区武汉片区）

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

寇俊波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	公开	公开
2022-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20211203

共 50 条

[1]

一种光谱型椭偏仪椭偏角的校准方法 [P].

李锁印 ;

韩志国 ;

冯亚南 ;

梁法国 ;

赵琳 ;

许晓青 ;

吴爱华 .

中国专利 :CN106091952A ,2016-11-09

[2]

旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103163077A ,2013-06-19

[3]

光谱椭偏仪 [P].

吕彤欣 ;

王笑寒 .

中国专利 :CN101467306B ,2009-06-24

[4]

一种椭偏仪优化校准方法 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345464B ,2024-11-29

[5]

一种椭偏仪优化校准方法 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345464A ,2021-02-09

[6]

一种椭偏仪微光斑校准方法 [P].

石雅婷 ;

薛小汝 ;

李伟奇 ;

郭春付 ;

何勇 ;

张传维 .

中国专利 :CN116045822B ,2025-11-25

[7]

成像椭偏仪的系统参数校准方法 [P].

曾爱军 ;

胡仕玉 ;

袁乔 ;

顾帅妍 ;

谷利元 ;

黄惠杰 ;

贺洪波 .

中国专利 :CN104535500A ,2015-04-22

[8]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[9]

单旋转补偿器型光谱椭偏仪参数校准方法和装置 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111122460B ,2020-05-08

[10]

一种用于光谱椭偏仪氧化铝薄膜校准方法 [P].

刘伟宝 .

中国专利 :CN119197345A ,2024-12-27

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