一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910007001.1

申请日：

2019-01-04

公开(公告)号：

CN109612942B

公开(公告)日：

2019-04-12

发明(设计)人：

修鹏徐文斌陈伟力郑崇李军伟

申请人：

申请人地址：

100854 北京市海淀区永定路50号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

北京格允知识产权代理有限公司 11609

代理人：

张沫;周娇娇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-12	公开	公开
2021-04-16	授权	授权
2019-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20190104

共 50 条

[1]

一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法 [P].

修鹏 ;

郑崇 ;

吴志宏 ;

徐文斌 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109540803B ,2019-03-29

[2]

光谱椭偏仪 [P].

吕彤欣 ;

王笑寒 .

中国专利 :CN101467306B ,2009-06-24

[3]

上原诚 .

中国专利 :CN108431562A ,2018-08-21

[4]

一种椭偏仪装置及其检测方法 [P].

修鹏 ;

郑崇 ;

徐文斌 ;

杨敏 ;

刘菁 ;

李军伟 .

中国专利 :CN110702614B ,2020-01-17

[5]

张宸睿 ;

张丽娟 ;

袁方琼 ;

张宇帆 ;

洪峰 ;

张雪娜 ;

金灿强 ;

曾鸿 .

中国专利 :CN115389022B ,2024-01-26

[6]

张宸睿 ;

张丽娟 ;

袁方琼 ;

张宇帆 ;

洪峰 ;

张雪娜 ;

金灿强 ;

曾鸿 .

中国专利 :CN115389022A ,2022-11-25

[7]

林用賱 .

中国专利 :CN110542651A ,2019-12-06

[8]

椭偏仪组件 [P].

邓思静 ;

李兆颖 ;

周来平 .

中国专利 :CN217542851U ,2022-10-04

[9]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[10]

聚焦光束椭偏仪 [P].

李仲焕 ;

高永俊 ;

朴永善 ;

朴允钟 ;

郑致云 ;

芮相宪 ;

赵龙在 ;

赵贤模 ;

诸葛园 .

中国专利 :CN101473212A ,2009-07-01

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