一种椭偏仪装置及其检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911071769.1

申请日：

2019-11-05

公开(公告)号：

CN110702614B

公开(公告)日：

2020-01-17

发明(设计)人：

修鹏郑崇徐文斌杨敏刘菁李军伟

申请人：

申请人地址：

100854 北京市海淀区永定路50号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

北京格允知识产权代理有限公司 11609

代理人：

周娇娇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20191105
2022-04-12	授权	授权
2020-01-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[2]

一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法 [P].

修鹏 ;

郑崇 ;

吴志宏 ;

徐文斌 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109540803B ,2019-03-29

[3]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[4]

一种椭偏仪装置 [P].

赵欢 ;

黄麟 ;

余翔 .

中国专利 :CN218331205U ,2023-01-17

[5]

一种实时偏振敏感的太赫兹时域椭偏仪 [P].

郭泉 ;

张园 ;

张栋文 ;

吕治辉 ;

赵增秀 ;

袁建民 .

中国专利 :CN208847653U ,2019-05-10

[6]

一种椭偏仪测量装置 [P].

黄爽 ;

黎浩 ;

王汉华 ;

许海明 .

中国专利 :CN216117305U ,2022-03-22

[7]

一种激光椭偏仪 [P].

魏文文 ;

孙晨财 ;

陈呈 ;

高荣刚 ;

勾宪芳 ;

王鹏 ;

姜利凯 .

中国专利 :CN202119404U ,2012-01-18

[8]

一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统 [P].

杜运强 ;

咸浩 ;

吴鸣雁 .

中国专利 :CN120831058A ,2025-10-24

[9]

一种提高椭偏仪测量精度的方法 [P].

郑玉祥 ;

毛鹏辉 ;

陈良尧 ;

吴康宁 ;

张冬旭 ;

张荣君 ;

杨月梅 .

中国专利 :CN103163078B ,2013-06-19

[10]

一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统 [P].

杜运强 ;

咸浩 ;

吴鸣雁 .

中国专利 :CN120831058B ,2025-11-18

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