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一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511325078.5
申请日：
2025-09-17
公开(公告)号：
CN120831058B
公开(公告)日：
2025-11-18
发明(设计)人：
杜运强 咸浩 吴鸣雁
申请人：
无锡众能光储科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市锡山区二泉东路19号集智广场B11楼
IPC主分类号：
G01B11/06
IPC分类号：
G06F18/2321 B05D1/00
代理机构：
北京中佳信联知识产权代理有限公司 16122
代理人：
魏贝贝
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 无锡市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-24 公开 公开
2025-11-11 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20250917
2025-11-18 授权 授权
共 50 条
[1]
一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统 [P]. 
杜运强 ;
咸浩 ;
吴鸣雁 .
中国专利 :CN120831058A ,2025-10-24
[2]
一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P]. 
修鹏 ;
徐文斌 ;
陈伟力 ;
郑崇 ;
李军伟 .
中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12
[3]
一种椭偏仪装置及其检测方法 [P]. 
修鹏 ;
郑崇 ;
徐文斌 ;
杨敏 ;
刘菁 ;
李军伟 .
中国专利 :CN110702614B ,2020-01-17
[4]
一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法 [P]. 
修鹏 ;
郑崇 ;
吴志宏 ;
徐文斌 ;
李军伟 .
中国专利 :CN109540803B ,2019-03-29
[5]
一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置 [P]. 
赵乐 ;
褚卫国 ;
闫兰琴 ;
宋志伟 ;
董凤良 ;
陈佩佩 ;
田毅 ;
胡海峰 ;
徐丽华 .
中国专利 :CN114720387A ,2022-07-08
[6]
一种利用光谱椭偏仪检测超厚金属膜的方法及装置 [P]. 
赵乐 ;
褚卫国 ;
闫兰琴 ;
宋志伟 ;
董凤良 ;
陈佩佩 ;
田毅 ;
胡海峰 ;
徐丽华 .
中国专利 :CN114720387B ,2024-08-02
[7]
校准椭偏仪的膜厚样片及其检验样片 [P]. 
李锁印 .
中国专利 :CN205825904U ,2016-12-21
[8]
穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P]. 
吴江湖 ;
李晓春 .
中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13
[9]
一种集成高精密椭偏膜厚测量系统 [P]. 
肖烈斌 ;
李扬 ;
盘健冰 ;
陈鑫荣 ;
周鹏 .
中国专利 :CN120991781A ,2025-11-21
[10]
校准椭偏仪的膜厚样片、检验样片及其检验方法 [P]. 
李锁印 .
中国专利 :CN106052573A ,2016-10-26
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