一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910007011.5

申请日：

2019-01-04

公开(公告)号：

CN109540803B

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

修鹏郑崇吴志宏徐文斌李军伟

申请人：

申请人地址：

100854 北京市海淀区永定路50号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

北京格允知识产权代理有限公司 11609

代理人：

张沫;周娇娇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	公开	公开
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20190104
2021-05-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[2]

一种椭偏仪装置及其检测方法 [P].

修鹏 ;

郑崇 ;

徐文斌 ;

杨敏 ;

刘菁 ;

李军伟 .

中国专利 :CN110702614B ,2020-01-17

[3]

一种基于磁光效应的成像椭偏仪 [P].

吴学健 ;

张继涛 ;

李岩 .

中国专利 :CN101852591A ,2010-10-06

[4]

一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法 [P].

王惊雷 ;

王双保 .

中国专利 :CN110596012A ,2019-12-20

[5]

一种椭偏仪装置 [P].

赵欢 ;

黄麟 ;

余翔 .

中国专利 :CN218331205U ,2023-01-17

[6]

一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统 [P].

杜运强 ;

咸浩 ;

吴鸣雁 .

中国专利 :CN120831058A ,2025-10-24

[7]

一种基于椭偏仪的膜厚检测方法及系统 [P].

杜运强 ;

咸浩 ;

吴鸣雁 .

中国专利 :CN120831058B ,2025-11-18

[8]

一种提高椭偏仪测量精度的方法 [P].

郑玉祥 ;

毛鹏辉 ;

陈良尧 ;

吴康宁 ;

张冬旭 ;

张荣君 ;

杨月梅 .

中国专利 :CN103163078B ,2013-06-19

[9]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[10]

一种椭偏仪测量装置 [P].

黄爽 ;

黎浩 ;

王汉华 ;

许海明 .

中国专利 :CN216117305U ,2022-03-22

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