一种基于磁光效应的成像椭偏仪

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010033720.X
申请日
2010-01-12
公开(公告)号
CN101852591A
公开(公告)日
2010-10-06
发明(设计)人
吴学健 张继涛 李岩
申请人
申请人地址
100084 北京市海淀区清华大学100084信箱82分箱
IPC主分类号
G01B1106
IPC分类号
G01N1300 G01N2101 G01N2141
代理机构
北京金恒联合知识产权代理事务所 11324
代理人
李强
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪 [P]. 
黎君玲 ;
张弓 .
中国专利 :CN213209897U ,2021-05-14
[2]
一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P]. 
修鹏 ;
徐文斌 ;
陈伟力 ;
郑崇 ;
李军伟 .
中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12
[3]
成像椭偏仪的系统参数校准方法 [P]. 
曾爱军 ;
胡仕玉 ;
袁乔 ;
顾帅妍 ;
谷利元 ;
黄惠杰 ;
贺洪波 .
中国专利 :CN104535500A ,2015-04-22
[4]
一种新型磁光效应综合实验仪 [P]. 
张强 ;
郜超军 .
中国专利 :CN211927678U ,2020-11-13
[5]
一种基于磁光效应的磁性颗粒成像方法 [P]. 
刘文中 ;
周逸铭 ;
崔鑫超 ;
朱旖雯 ;
李兰 ;
刘春萍 ;
逯翀 .
中国专利 :CN115219433B ,2024-07-02
[6]
一种提高椭偏仪测量精度的方法 [P]. 
郑玉祥 ;
毛鹏辉 ;
陈良尧 ;
吴康宁 ;
张冬旭 ;
张荣君 ;
杨月梅 .
中国专利 :CN103163078B ,2013-06-19
[7]
一种椭偏仪装置和基于该装置的检测方法 [P]. 
修鹏 ;
郑崇 ;
吴志宏 ;
徐文斌 ;
李军伟 .
中国专利 :CN109540803B ,2019-03-29
[8]
基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪 [P]. 
陈修国 ;
陈军 ;
陈超 ;
刘世元 .
中国专利 :CN106595521A ,2017-04-26
[9]
一种基于Faraday效应的光谱椭偏仪及测量方法 [P]. 
陈新元 .
中国专利 :CN112683180B ,2021-04-20
[10]
一种激光椭偏仪 [P]. 
魏文文 ;
孙晨财 ;
陈呈 ;
高荣刚 ;
勾宪芳 ;
王鹏 ;
姜利凯 .
中国专利 :CN202119404U ,2012-01-18