一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021921283.0

申请日：

2020-09-07

公开(公告)号：

CN213209897U

公开(公告)日：

2021-05-14

发明(设计)人：

黎君玲张弓

申请人：

申请人地址：

510000 广东省广州市越秀区建设大马路3号45栋

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G01B1106 G01B1124

代理机构：

广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙) 44763

代理人：

袁翔

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-14	授权	授权
2022-08-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20200907 授权公告日:20210514 终止日期:20210907

共 50 条

[1]

一种半导体检测用椭偏仪 [P].

徐勇宜 ;

于国斌 .

中国专利 :CN213482047U ,2021-06-18

[2]

一种半导体检测用椭偏仪 [P].

郭冰冰 .

中国专利 :CN212432965U ,2021-01-29

[3]

一种半导体检测用方便使用的椭偏仪 [P].

欧艳艳 ;

于国斌 .

中国专利 :CN213422227U ,2021-06-11

[4]

一种基于磁光效应的成像椭偏仪 [P].

吴学健 ;

张继涛 ;

李岩 .

中国专利 :CN101852591A ,2010-10-06

[5]

一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪 [P].

陈光宇 .

中国专利 :CN213120437U ,2021-05-04

[6]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[7]

一种半导体检测用探针台 [P].

朱丽华 ;

曹祥俊 .

中国专利 :CN113970658A ,2022-01-25

[8]

一种半导体检测用四探针 [P].

孙铭 .

中国专利 :CN212483756U ,2021-02-05

[9]

一种半导体检测用辅助装置 [P].

杜浩晨 ;

王光辉 .

中国专利 :CN214278262U ,2021-09-24

[10]

一种半导体检测用探针台 [P].

朱丽华 ;

曹祥俊 .

中国专利 :CN113970658B ,2024-02-23

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