一种半导体检测用方便使用的椭偏仪

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专利类型
实用新型
申请号
CN202022283062.1
申请日
2020-10-14
公开(公告)号
CN213422227U
公开(公告)日
2021-06-11
发明(设计)人
欧艳艳 于国斌
申请人
申请人地址
510000 广东省广州市海珠区晓港中马路130号之十八
IPC主分类号
G01D1130
IPC分类号
代理机构
广州人才汇进知识产权代理事务所(普通合伙) 44763
代理人
袁翔
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体检测用椭偏仪 [P]. 
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于国斌 .
中国专利 :CN213482047U ,2021-06-18
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