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一种半导体检测用可水平调节的椭偏仪
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021643109.4
申请日：
2020-08-10
公开(公告)号：
CN213120437U
公开(公告)日：
2021-05-04
发明(设计)人：
陈光宇
申请人：
申请人地址：
211806 江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢554室
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
G01N2121
G01N2101
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-04 | 授权 | 授权 |