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一种半导体检测用探针台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111231263.X
申请日：
2021-10-22
公开(公告)号：
CN113970658B
公开(公告)日：
2024-02-23
发明(设计)人：
朱丽华
曹祥俊
申请人：
深圳台达创新半导体有限公司
申请人地址：
518120 广东省深圳市大鹏新区葵涌街道葵新社区灵海路2号东创智能科技产业园4栋厂房101、201
IPC主分类号：
G01R1/067
IPC分类号：
代理机构：
合肥汇融专利代理有限公司 34141
代理人：
杨家坤
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-23 | 授权 | 授权 |