一种提高椭偏仪测量精度的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310078010.2

申请日：

2013-03-12

公开(公告)号：

CN103163078B

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

郑玉祥毛鹏辉陈良尧吴康宁张冬旭张荣君杨月梅

申请人：

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101535525220 IPC(主分类):G01N 21/21 专利申请号:2013100780102 申请日:20130312
2019-03-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20130312 授权公告日:20150513 终止日期:20180312
2013-06-19	公开	公开
2015-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种提高椭偏仪测量精度的方法 [P].

顾高菲 ;

王雷 ;

姜昌录 ;

许荣国 ;

康登魁 ;

陈洁婧 ;

贾云峰 .

中国专利 :CN114295555A ,2022-04-08

[2]

一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN107490547B ,2017-12-19

[3]

一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法 [P].

王惊雷 ;

王双保 .

中国专利 :CN110596012A ,2019-12-20

[4]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[5]

椭偏仪测量超薄膜层的精度提升方法和装置 [P].

胡国行 ;

单尧 ;

贺洪波 ;

赵元安 ;

谷利元 ;

曾爱军 .

中国专利 :CN106403830A ,2017-02-15

[6]

基于四次光强测量的Mueller型椭偏仪椭偏参数测量方法及装置 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN109459138A ,2019-03-12

[7]

一种椭偏仪测量装置 [P].

黄爽 ;

黎浩 ;

王汉华 ;

许海明 .

中国专利 :CN216117305U ,2022-03-22

[8]

一种椭偏仪光学参数高精度提取方法 [P].

刘卫平 ;

贾云峰 ;

王楠茜 ;

陈洁婧 ;

顾高菲 ;

王雷 ;

许荣国 ;

李辉 .

中国专利 :CN119269412A ,2025-01-07

[9]

一种椭偏测量装置 [P].

黄佐华 ;

王礼娟 ;

杨怀 .

中国专利 :CN101051022B ,2007-10-10

[10]

一种椭偏测量的方法及其装置 [P].

党江涛 ;

潘宁宁 ;

高海军 .

中国专利 :CN101666626B ,2010-03-10

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