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一种椭偏测量的方法及其装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810042435.7
申请日：
2008-09-03
公开(公告)号：
CN101666626B
公开(公告)日：
2010-03-10
发明(设计)人：
党江涛 潘宁宁 高海军
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
G01N2121
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
罗朋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2012-02-29 授权 授权
2015-12-09 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 专利权质押合同登记的生效 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724947004 IPC(主分类):G01B 11/06 专利号:ZL2008100424357 登记号:2015310000042 登记生效日:20151111 出质人:睿励科学仪器(上海)有限公司 质权人:上海浦东科技融资担保有限公司 发明名称:一种椭偏测量的方法及其装置 申请日:20080903 授权公告日:20120229
2019-11-22 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01B 11/06 授权公告日:20120229 申请日:20080903 登记号:2019310000002 出质人:睿励科学仪器（上海）有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 解除日:20191029
2010-03-10 公开 公开
2019-02-19 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 登记号:2019310000002 登记生效日:20190121 出质人:睿励科学仪器（上海）有限公司 质权人:上海兴橙投资管理有限公司 发明名称:一种椭偏测量的方法及其装置 申请日:20080903 授权公告日:20120229
2017-04-12 专利权质押合同登记的生效、变更及注销 专利权质押合同登记的注销 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750009749 IPC(主分类):G01B 11/06 授权公告日:20120229 申请日:20080903 专利号:ZL2008100424357 登记号:2015310000042 出质人:睿励科学仪器(上海)有限公司 质权人:上海浦东科技融资担保有限公司 解除日:20170317
2010-04-28 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001299079 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2008100424357 申请日:20080903
共 50 条
[1]
一种椭偏测量装置 [P]. 
黄佐华 ;
王礼娟 ;
杨怀 .
中国专利 :CN101051022B ,2007-10-10
[2]
一种椭偏测量装置 [P]. 
朱宗洋 ;
杨良 ;
尹福钰 .
中国专利 :CN212275564U ,2021-01-01
[3]
一种椭偏测量系统校准方法、系统及椭偏测量方法 [P]. 
张传维 ;
侯昭茹 ;
陈修国 .
中国专利 :CN118130390A ,2024-06-04
[4]
一种提高椭偏仪测量精度的方法 [P]. 
郑玉祥 ;
毛鹏辉 ;
陈良尧 ;
吴康宁 ;
张冬旭 ;
张荣君 ;
杨月梅 .
中国专利 :CN103163078B ,2013-06-19
[5]
一种角度连续可变的单波长椭偏测量装置及测量方法 [P]. 
吴玉年 .
中国专利 :CN117110205B ,2024-05-31
[6]
一种基于弹光调制的光谱椭偏测量装置及方法 [P]. 
李克武 ;
王志斌 ;
王爽 ;
李晓 .
中国专利 :CN108519335A ,2018-09-11
[7]
一种用于椭偏测量中的光强调节方法和装置 [P]. 
孟永宏 ;
靳刚 .
中国专利 :CN101231238A ,2008-07-30
[8]
一种快照式椭偏测量方法及设备 [P]. 
陈修国 ;
陈文龙 ;
胡静 ;
杨世龙 ;
王逸夫 ;
刘世元 .
中国专利 :CN117368114A ,2024-01-09
[9]
一种磁性椭偏测量装置 [P]. 
刘世元 ;
刘佳敏 ;
江浩 ;
龚雯棋 .
中国专利 :CN113310907B ,2021-08-27
[10]
一种椭偏测量装置及测量方法 [P]. 
朱宗洋 ;
杨良 ;
尹福钰 .
中国专利 :CN111624159B ,2025-01-28
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