一种快照式椭偏测量方法及设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311188558.2

申请日：

2023-09-13

公开(公告)号：

CN117368114A

公开(公告)日：

2024-01-09

发明(设计)人：

陈修国陈文龙胡静杨世龙王逸夫刘世元

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01N21/21

IPC分类号：

G01N21/01 G06F17/14 G06F17/16 G06N3/02

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

孔娜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/21申请日:20230913
2024-01-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种椭偏测量系统校准方法、系统及椭偏测量方法 [P].

张传维 ;

侯昭茹 ;

陈修国 .

中国专利 :CN118130390A ,2024-06-04

[2]

一种椭偏测量装置 [P].

黄佐华 ;

王礼娟 ;

杨怀 .

中国专利 :CN101051022B ,2007-10-10

[3]

一种线场色散干涉椭偏测量系统及测量方法 [P].

吴冠豪 ;

张金旭 .

中国专利 :CN118408891A ,2024-07-30

[4]

一种椭偏测量装置及测量方法 [P].

朱宗洋 ;

杨良 ;

尹福钰 .

中国专利 :CN111624159B ,2025-01-28

[5]

一种椭偏测量装置及测量方法 [P].

朱宗洋 ;

杨良 ;

尹福钰 .

中国专利 :CN111624159A ,2020-09-04

[6]

一种椭偏测量系统及测量方法 [P].

陈鲁 ;

马砚忠 ;

杨长英 ;

王南朔 ;

何泊衢 .

中国专利 :CN120176546A ,2025-06-20

[7]

一种椭偏测量系统及测量方法 [P].

马砚忠 ;

杨长英 ;

孙晶露 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120176547A ,2025-06-20

[8]

一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法 [P].

王惊雷 ;

王双保 .

中国专利 :CN110596012A ,2019-12-20

[9]

一种傅里叶变换红外穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法 [P].

张传维 ;

刘柠林 ;

郭春付 ;

李伟奇 ;

刘世元 .

中国专利 :CN109580551A ,2019-04-05

[10]

消光/光度兼容式自动椭偏仪和测量方法 [P].

王凡凡 ;

姚波 .

中国专利 :CN101093176A ,2007-12-26

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