一种椭偏测量系统及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510330884.5

申请日：

2025-03-19

公开(公告)号：

CN120176547A

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

马砚忠杨长英孙晶露陈鲁

申请人：

深圳中科飞测科技股份有限公司

申请人地址：

518109 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

G01N21/21 G01N21/01

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

韩丽波

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	公开	公开
2025-07-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20250319

共 50 条

[1]

一种椭偏测量系统及测量方法 [P].

陈鲁 ;

马砚忠 ;

杨长英 ;

王南朔 ;

何泊衢 .

中国专利 :CN120176546A ,2025-06-20

[2]

一种椭偏测量系统校准方法、系统及椭偏测量方法 [P].

张传维 ;

侯昭茹 ;

陈修国 .

中国专利 :CN118130390A ,2024-06-04

[3]

一种椭偏测量装置及测量方法 [P].

朱宗洋 ;

杨良 ;

尹福钰 .

中国专利 :CN111624159B ,2025-01-28

[4]

一种椭偏测量装置及测量方法 [P].

朱宗洋 ;

杨良 ;

尹福钰 .

中国专利 :CN111624159A ,2020-09-04

[5]

一种线场色散干涉椭偏测量系统及测量方法 [P].

吴冠豪 ;

张金旭 .

中国专利 :CN118408891A ,2024-07-30

[6]

光谱椭偏测量方法、系统及存储介质 [P].

韩景珊 ;

王瑜 ;

杨峰 ;

吕彤欣 .

中国专利 :CN116297227B ,2025-08-12

[7]

一种磁光椭偏测量装置及测量方法 [P].

连洁 ;

宋平 ;

薛其坤 ;

王晓 ;

李萍 ;

高尚 ;

马峥 ;

吴仕梁 .

中国专利 :CN101865827B ,2010-10-20

[8]

一种高压光谱椭偏测量装置及测量方法 [P].

江浩 ;

刘佳敏 ;

王勐 ;

刘世元 ;

王一帆 ;

谷洪刚 .

中国专利 :CN113740269A ,2021-12-03

[9]

一种共轴超快光谱椭偏仪及测量方法 [P].

王健 ;

翟福琪 ;

彭立华 ;

卢文龙 ;

徐龙 ;

周莉萍 .

中国专利 :CN113777048A ,2021-12-10

[10]

一种快照式椭偏测量方法及设备 [P].

陈修国 ;

陈文龙 ;

胡静 ;

杨世龙 ;

王逸夫 ;

刘世元 .

中国专利 :CN117368114A ,2024-01-09

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