一种椭偏测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021272230.0

申请日：

2020-07-02

公开(公告)号：

CN212275564U

公开(公告)日：

2021-01-01

发明(设计)人：

朱宗洋杨良尹福钰

申请人：

申请人地址：

102600 北京市大兴区北京经济技术开发区西环南路26号院30号楼4层402C

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

北京维正专利代理有限公司 11508

代理人：

侯巍巍

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种椭偏测量装置及测量方法 [P].

朱宗洋 ;

杨良 ;

尹福钰 .

中国专利 :CN111624159B ,2025-01-28

[2]

一种椭偏测量装置及测量方法 [P].

朱宗洋 ;

杨良 ;

尹福钰 .

中国专利 :CN111624159A ,2020-09-04

[3]

一种椭偏测量装置 [P].

黄佐华 ;

王礼娟 ;

杨怀 .

中国专利 :CN101051022B ,2007-10-10

[4]

一种磁性椭偏测量装置 [P].

刘世元 ;

刘佳敏 ;

江浩 ;

龚雯棋 .

中国专利 :CN113310907B ,2021-08-27

[5]

一种椭偏仪测量装置 [P].

黄爽 ;

黎浩 ;

王汉华 ;

许海明 .

中国专利 :CN216117305U ,2022-03-22

[6]

一种椭偏测量系统校准方法、系统及椭偏测量方法 [P].

张传维 ;

侯昭茹 ;

陈修国 .

中国专利 :CN118130390A ,2024-06-04

[7]

一种椭偏测量的方法及其装置 [P].

党江涛 ;

潘宁宁 ;

高海军 .

中国专利 :CN101666626B ,2010-03-10

[8]

一种椭偏测量系统及测量方法 [P].

陈鲁 ;

马砚忠 ;

杨长英 ;

王南朔 ;

何泊衢 .

中国专利 :CN120176546A ,2025-06-20

[9]

一种椭偏测量系统及测量方法 [P].

马砚忠 ;

杨长英 ;

孙晶露 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120176547A ,2025-06-20

[10]

一种磁光椭偏测量装置及测量方法 [P].

连洁 ;

宋平 ;

薛其坤 ;

王晓 ;

李萍 ;

高尚 ;

马峥 ;

吴仕梁 .

中国专利 :CN101865827B ,2010-10-20

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