一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710618190.7

申请日：

2017-07-26

公开(公告)号：

CN107490547B

公开(公告)日：

2017-12-19

发明(设计)人：

胡浩丰刘铁根李校博

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区卫津路92号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人：

李素兰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-19	公开	公开
2020-03-27	授权	授权
2018-01-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20170726

共 50 条

[1]

基于四次光强测量的Mueller型椭偏仪椭偏参数测量方法及装置 [P].

胡浩丰 ;

刘铁根 ;

李校博 .

中国专利 :CN109459138A ,2019-03-12

[2]

一种椭偏仪系统参数的优化方法 [P].

刘世元 ;

杜卫超 ;

张传维 ;

谷洪刚 ;

李苏斌 .

中国专利 :CN103426031B ,2013-12-04

[3]

一种椭偏仪实时测量结果优化方法 [P].

苗政委 ;

汤媛媛 ;

魏凯 ;

张雨东 .

中国专利 :CN113609687A ,2021-11-05

[4]

一种椭偏仪优化校准方法 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345464B ,2024-11-29

[5]

一种消光式椭偏仪 [P].

施玉书 ;

张树 ;

李伟 ;

杜陈伙 .

中国专利 :CN120064142A ,2025-05-30

[6]

一种椭偏仪优化校准方法 [P].

李伟奇 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345464A ,2021-02-09

[7]

一种提高椭偏仪测量精度的方法 [P].

郑玉祥 ;

毛鹏辉 ;

陈良尧 ;

吴康宁 ;

张冬旭 ;

张荣君 ;

杨月梅 .

中国专利 :CN103163078B ,2013-06-19

[8]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[9]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[10]

一种磁性椭偏测量装置 [P].

刘世元 ;

刘佳敏 ;

江浩 ;

龚雯棋 .

中国专利 :CN113310907B ,2021-08-27

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