快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011163917.5

申请日：

2020-10-27

公开(公告)号：

CN112378861A

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

陈修国王鹏张劲松石雅婷刘世元

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01N2121

IPC分类号：

G06F1715 G06F1716

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

孔娜;李智

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-19	公开	公开
2021-10-15	授权	授权
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/21 申请日:20201027

共 44 条

[1]

一种快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法 [P].

陈修国 ;

王鹏 ;

张劲松 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112179851B ,2021-01-05

[2]

穆勒矩阵椭偏仪及其检测方法 [P].

吴江湖 ;

李晓春 .

中国专利 :CN118483164A ,2024-08-13

[3]

旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

陈超 ;

盛胜 ;

周军宏 ;

刘世元 .

中国专利 :CN112378860B ,2021-02-19

[4]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[5]

一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪的误差校准方法 [P].

雷兵 ;

高超 ;

翁剑宇 ;

曹晓昱 ;

张斌 ;

施建华 .

中国专利 :CN116930093B ,2024-01-26

[6]

一种傅里叶变换红外穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法 [P].

张传维 ;

刘柠林 ;

郭春付 ;

李伟奇 ;

刘世元 .

中国专利 :CN109580551A ,2019-04-05

[7]

一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法 [P].

陈修国 ;

盛胜 ;

庄锦峰 ;

刘世元 .

中国专利 :CN113281267B ,2021-08-20

[8]

椭偏仪中延迟器偏差角度及延迟相位量的定标方法 [P].

李晶 ;

凌航 ;

张书博 ;

宋晓晓 ;

张欣彤 ;

刘春敏 .

中国专利 :CN112880832A ,2021-06-01

[9]

用于双旋转补偿器椭偏仪的菲涅尔棱镜相位延迟器 [P].

刘世元 ;

谷洪刚 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103424881A ,2013-12-04

[10]

基于液晶调相的垂直物镜式穆勒矩阵成像椭偏仪 [P].

陈修国 ;

陈军 ;

陈超 ;

刘世元 .

中国专利 :CN106595521A ,2017-04-26

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