硅纳米线器件的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110328162.4

申请日：

2011-10-25

公开(公告)号：

CN102354669B

公开(公告)日：

2012-02-15

发明(设计)人：

景旭斌杨斌郭明升

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2102 B82Y4000

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101212134630 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2011103281624 申请日:20111025
2013-02-27	授权	授权
2012-02-15	公开	公开

共 50 条

[1]

与CMOS工艺兼容的硅纳米线器件的制作方法 [P].

曹永峰 .

中国专利 :CN102969222A ,2013-03-13

[2]

与CMOS工艺兼容的硅纳米线器件及其制作方法 [P].

曹永峰 .

中国专利 :CN102299171A ,2011-12-28

[3]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

田伟 ;

陶继方 ;

温良恭 .

中国专利 :CN121158724A ,2025-12-19

[4]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

刘丽蓉 ;

王勇 ;

丁超 .

中国专利 :CN106783618A ,2017-05-31

[5]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

王慧泉 ;

金仲和 ;

郑阳明 ;

王跃林 ;

李铁 .

中国专利 :CN1958436A ,2007-05-09

[6]

一种硅纳米线的制作方法 [P].

王跃林 ;

李欣昕 ;

刘文平 .

中国专利 :CN1215530C ,2004-02-11

[7]

制造硅纳米线的方法和包含硅纳米线的器件 [P].

P·S·何 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN105580170A ,2016-05-11

[8]

纳米线器件的制作方法 [P].

李永亮 ;

马雪丽 ;

李俊杰 ;

王晓磊 ;

杨红 ;

王文武 ;

李超雷 .

中国专利 :CN109830525B ,2019-05-31

[9]

硅纳米线围栅器件的制备方法 [P].

范春晖 ;

周伟 .

中国专利 :CN102142376A ,2011-08-03

[10]

硅纳米线器件及其制造方法 [P].

曹永峰 .

中国专利 :CN102437190A ,2012-05-02

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