一种垂直投影反射光学系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620167779.0

申请日：

2016-03-04

公开(公告)号：

CN205594289U

公开(公告)日：

2016-09-21

发明(设计)人：

顾克明

申请人：

申请人地址：

100102 北京市朝阳区望京园601楼悠乐汇E座2315室

IPC主分类号：

G03B2128

IPC分类号：

G03B2114

代理机构：

北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435

代理人：

孟阿妮;郭栋梁

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03B 21/28 申请日:20160304 授权公告日:20160921 终止日期:20180304
2016-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

折射反射光学系统和具有该折射反射光学系统的曝光装置 [P].

高桥友刀 .

中国专利 :CN100460921C ,2004-10-06

[2]

一种无遮拦纯反射光学系统 [P].

陈建发 .

中国专利 :CN105334607A ,2016-02-17

[3]

一种分光三反射光学系统 [P].

巩盾 ;

田铁印 ;

王红 .

中国专利 :CN107561674A ,2018-01-09

[4]

一种全反射光学系统 [P].

马小龙 ;

杨建峰 ;

阮萍 ;

李福 ;

李婷 ;

薛彬 .

中国专利 :CN201331617Y ,2009-10-21

[5]

一种全反射光学系统 [P].

马小龙 ;

杨建峰 ;

阮萍 ;

李福 ;

李婷 ;

薛彬 .

中国专利 :CN101782680B ,2010-07-21

[6]

平视显示装置以及反射光学系统 [P].

横江润也 ;

南原孝启 .

中国专利 :CN107924060A ,2018-04-17

[7]

一种折反射光学系统及折反射光学成像方法 [P].

王丽萍 ;

何锋赟 ;

王君 .

中国专利 :CN106597653A ,2017-04-26

[8]

大视场共轴球面四反射光学系统 [P].

常军 ;

魏阿满 ;

曹娇 ;

张利飞 ;

欧阳姣 ;

李荣 ;

沈本兰 .

中国专利 :CN102590994A ,2012-07-18

[9]

大口径反射光学系统检测装置 [P].

庞志海 ;

凤良杰 ;

樊学武 ;

邹刚毅 .

中国专利 :CN207894589U ,2018-09-21

[10]

一种投影光学系统 [P].

赵卫 ;

谢永军 ;

康福増 ;

张周锋 .

中国专利 :CN103135238A ,2013-06-05

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