微机械光开关的闩锁及制作

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03127612.1

申请日：

2003-07-03

公开(公告)号：

CN100395577C

公开(公告)日：

2004-11-03

发明(设计)人：

梁静秋董玮明安杰陈维友王立军

申请人：

申请人地址：

130022吉林省长春市人民大街140号

IPC主分类号：

G02B635

IPC分类号：

G02B2608 G03F700

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所

代理人：

陶遵新

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-11-03	公开	公开
2005-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-09-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101103911547 IPC(主分类):G02B 6/35 专利号:ZL031276121 申请日:20030703 授权公告日:20080618 终止日期:20100703
2008-06-18	授权	授权

共 50 条

[1]

倾斜下电极式光开关的闩锁 [P].

梁静秋 ;

董玮 ;

明安杰 ;

陈维友 ;

王立军 .

中国专利 :CN2731476Y ,2005-10-05

[2]

利用（110）硅片制作微机械光开关、光开关阵列及方法 [P].

董玮 ;

陈维友 ;

刘彩霞 ;

张龙 ;

徐宝琨 .

中国专利 :CN1402034A ,2003-03-12

[3]

柔性悬臂微机械光开关制作方法 [P].

梁静秋 ;

钟砚超 ;

梁中翥 ;

陈斌 ;

孙德贵 .

中国专利 :CN101158747A ,2008-04-09

[4]

一种利用金属材料制作的微机械光开关 [P].

罗元 ;

张正元 ;

黄尚廉 ;

徐世六 .

中国专利 :CN1220899C ,2004-02-04

[5]

柔性悬臂微机械光开关 [P].

梁静秋 ;

李伟 ;

梁中翥 ;

马文生 ;

孙德贵 .

中国专利 :CN101158748A ,2008-04-09

[6]

一种利用<110>硅片制作的微机械光开关 [P].

向民 ;

杨艺榕 ;

王跃林 .

中国专利 :CN1405592A ,2003-03-26

[7]

一种利用(100)硅片制作的微机械光开关 [P].

李铁 ;

王跃林 .

中国专利 :CN2461012Y ,2001-11-21

[8]

微机械光开关阵列 [P].

涂相征 ;

李韫言 .

中国专利 :CN1172204C ,2002-09-25

[9]

一种扭转梁大位移的微机械光开关 [P].

王浙辉 ;

李铁 ;

王跃林 .

中国专利 :CN2569170Y ,2003-08-27

[10]

微机械开关的制备方法及微机械开关 [P].

王喆垚 .

中国专利 :CN119706735A ,2025-03-28

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