一种扭转梁大位移的微机械光开关

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02216985.7

申请日：

2002-04-22

公开(公告)号：

CN2569170Y

公开(公告)日：

2003-08-27

发明(设计)人：

王浙辉李铁王跃林

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

G02B635

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

潘振甦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-08-27	授权	授权
2009-06-17	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关 [P].

王浙辉 ;

王东平 ;

王跃林 .

中国专利 :CN2472244Y ,2002-01-16

[2]

直梁屈曲静电式微机械光开关 [P].

田文超 ;

山磊 .

中国专利 :CN103033885B ,2013-04-10

[3]

扭转梁电容式射频微机械开关 [P].

宋明歆 ;

梅金硕 ;

宋亮 ;

殷景华 ;

王东兴 .

中国专利 :CN201417715Y ,2010-03-03

[4]

利用（110）硅片制作微机械光开关、光开关阵列及方法 [P].

董玮 ;

陈维友 ;

刘彩霞 ;

张龙 ;

徐宝琨 .

中国专利 :CN1402034A ,2003-03-12

[5]

一种利用(100)硅片制作的微机械光开关 [P].

李铁 ;

王跃林 .

中国专利 :CN2461012Y ,2001-11-21

[6]

微机械光开关的闩锁及制作 [P].

梁静秋 ;

董玮 ;

明安杰 ;

陈维友 ;

王立军 .

中国专利 :CN100395577C ,2004-11-03

[7]

柔性悬臂微机械光开关 [P].

梁静秋 ;

李伟 ;

梁中翥 ;

马文生 ;

孙德贵 .

中国专利 :CN101158748A ,2008-04-09

[8]

一种利用金属材料制作的微机械光开关 [P].

罗元 ;

张正元 ;

黄尚廉 ;

徐世六 .

中国专利 :CN1220899C ,2004-02-04

[9]

一种近零功率微机械光开关 [P].

赵继聪 ;

侯海洋 ;

党岩盟 ;

林叶繁 ;

孙海燕 .

中国专利 :CN118300593A ,2024-07-05

[10]

微机械光开关阵列 [P].

涂相征 ;

李韫言 .

中国专利 :CN1172204C ,2002-09-25

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