一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN01211156.2

申请日：

2001-03-16

公开(公告)号：

CN2472244Y

公开(公告)日：

2002-01-16

发明(设计)人：

王浙辉王东平王跃林

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

G02B635

IPC分类号：

代理机构：

上海华东专利事务所

代理人：

潘振甦

法律状态：

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-13	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2002-01-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种扭转梁大位移的微机械光开关 [P].

王浙辉 ;

李铁 ;

王跃林 .

中国专利 :CN2569170Y ,2003-08-27

[2]

直梁屈曲静电式微机械光开关 [P].

田文超 ;

山磊 .

中国专利 :CN103033885B ,2013-04-10

[3]

一种利用(100)硅片制作的微机械光开关 [P].

李铁 ;

王跃林 .

中国专利 :CN2461012Y ,2001-11-21

[4]

一种近零功率微机械光开关 [P].

赵继聪 ;

侯海洋 ;

党岩盟 ;

林叶繁 ;

孙海燕 .

中国专利 :CN118300593A ,2024-07-05

[5]

一种利用<110>硅片制作的微机械光开关 [P].

向民 ;

杨艺榕 ;

王跃林 .

中国专利 :CN1405592A ,2003-03-26

[6]

多路可扩展的微机械式光开关阵列 [P].

吴兴坤 ;

袁野 .

中国专利 :CN2554639Y ,2003-06-04

[7]

微机械光开关的闩锁及制作 [P].

梁静秋 ;

董玮 ;

明安杰 ;

陈维友 ;

王立军 .

中国专利 :CN100395577C ,2004-11-03

[8]

一种利用金属材料制作的微机械光开关 [P].

罗元 ;

张正元 ;

黄尚廉 ;

徐世六 .

中国专利 :CN1220899C ,2004-02-04

[9]

多路可扩展的微机械式光开关阵列 [P].

吴兴坤 ;

袁野 .

中国专利 :CN1395122A ,2003-02-05

[10]

一种基于等离子体吸收器的微机械光开关 [P].

赵继聪 ;

林叶繁 ;

党岩盟 ;

侯海洋 ;

孙海燕 .

中国专利 :CN119179139A ,2024-12-24

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