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一种硅片检测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911139211.2
申请日：
2019-11-20
公开(公告)号：
CN110736754A
公开(公告)日：
2020-01-31
发明(设计)人：
贾永前
樊欢欢
董慧
申请人：
申请人地址：
222000 江苏省连云港市东海县经济开发区西区淮海路6号
IPC主分类号：
G01N2194
IPC分类号：
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
徐颖聪
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/94 申请日:20191120 |
| 2020-01-31 | 公开 | 公开 |