一种硅片边缘检测系统

被引：0

申请号：

CN202220705660.X

申请日：

2022-03-29

公开(公告)号：

CN216411102U

公开(公告)日：

2022-04-29

发明(设计)人：

刘玉乾

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G06T700 H01L2167 H01L2166

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

李斌栋;沈寒酉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片边缘检测组合光源 [P].

牛建蓉 .

中国专利 :CN222838008U ,2025-05-06

[2]

一种硅片边缘检测机构及检测装置 [P].

刘世挺 ;

李文 ;

谭晓靖 ;

葛建良 ;

徐飞 ;

洪瑞 ;

李昶 ;

韩杰 .

中国专利 :CN215496642U ,2022-01-11

[3]

一种检测硅片边缘状况的装置 [P].

周峰 ;

梁兴勃 ;

潘建平 ;

张海英 ;

沈海潮 .

中国专利 :CN218350119U ,2023-01-20

[4]

一种晶片边缘检测系统 [P].

张庆 ;

吴伟平 .

中国专利 :CN220454532U ,2024-02-06

[5]

一种硅片检测系统 [P].

贾永前 ;

樊欢欢 ;

董慧 .

中国专利 :CN211043184U ,2020-07-17

[6]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN217344994U ,2022-09-02

[7]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

聂阳 .

中国专利 :CN216542412U ,2022-05-17

[8]

一种硅片边缘清洁装置 [P].

李文明 ;

龙科 .

中国专利 :CN220991992U ,2024-05-24

[9]

一种硅片边缘钝化结构 [P].

张双玉 ;

请求不公布姓名 ;

李蕊怡 ;

安萍 ;

刘丽华 .

中国专利 :CN223694237U ,2025-12-19

[10]

一种硅片边缘及表面自动化视觉检测系统及检测方法 [P].

金太薰 .

中国专利 :CN113884506A ,2022-01-04

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