一种硅片边缘检测机构及检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121573386.7

申请日：

2021-07-12

公开(公告)号：

CN215496642U

公开(公告)日：

2022-01-11

发明(设计)人：

刘世挺李文谭晓靖葛建良徐飞洪瑞李昶韩杰

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新区珠江路25号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369

代理人：

孙际德;章陆一

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片边缘检测装置及方法 [P].

潘凌锋 ;

陈一信 ;

陈浙泊 ;

张一航 ;

白振兴 ;

张东霖 ;

陈镇元 ;

叶雪旺 ;

陈龙威 ;

林建宇 ;

余建安 ;

吴荻苇 .

中国专利 :CN117410193A ,2024-01-16

[2]

一种硅片边缘检测装置及方法 [P].

陈伟龙 .

中国专利 :CN117524936A ,2024-02-06

[3]

一种检测机构及检测装置 [P].

李文 ;

李昶 ;

徐飞 ;

李泽通 ;

马红伟 .

中国专利 :CN210110712U ,2020-02-21

[4]

一种硅片边缘检测系统 [P].

刘玉乾 .

中国专利 :CN216411102U ,2022-04-29

[5]

一种检测硅片边缘状况的装置 [P].

周峰 ;

梁兴勃 ;

潘建平 ;

张海英 ;

沈海潮 .

中国专利 :CN218350119U ,2023-01-20

[6]

一种硅片端面检测装置及硅片检测系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223052100U ,2025-07-01

[7]

一种硅片边缘检测组合光源 [P].

牛建蓉 .

中国专利 :CN222838008U ,2025-05-06

[8]

一种检测机构及检测装置 [P].

李文 ;

李昶 ;

徐飞 ;

李泽通 ;

马红伟 .

中国专利 :CN110379727A ,2019-10-25

[9]

一种检测机构及检测装置 [P].

李文 ;

李昶 ;

徐飞 ;

李泽通 ;

马红伟 .

中国专利 :CN110379727B ,2024-08-02

[10]

一种硅片及硅片的检测装置 [P].

张军 ;

马自成 .

中国专利 :CN213546328U ,2021-06-25

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