一种硅片及硅片的检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022617751.1

申请日：

2020-11-12

公开(公告)号：

CN213546328U

公开(公告)日：

2021-06-25

发明(设计)人：

张军马自成

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号

IPC主分类号：

H01L310352

IPC分类号：

H01L2166 H01L21677

代理机构：

成都欣圣知识产权代理有限公司 51292

代理人：

王海文

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	授权	授权
2021-09-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/0352 登记生效日:20210830 变更事项:专利权人变更前权利人:四川永祥硅材料有限公司变更后权利人:四川永祥光伏科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:614000 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号变更后权利人:614000 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号

共 50 条

[1]

一种硅片检测装置及硅片分选设备 [P].

张华民 ;

徐亚平 ;

徐炜 .

中国专利 :CN217830827U ,2022-11-18

[2]

硅片侧边检测装置及硅片分选机 [P].

李文 ;

李昶 ;

王美 ;

徐飞 .

中国专利 :CN210010204U ,2020-02-04

[3]

一种硅片检测装置及硅片分选设备 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

周凡 ;

徐飞 ;

黄莉莉 ;

薛冬冬 .

中国专利 :CN214516057U ,2021-10-29

[4]

一种硅片检测装置及硅片分选设备 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

刘世挺 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN216937150U ,2022-07-12

[5]

硅片检测装置 [P].

孙铁囤 ;

姚伟忠 ;

汤平 .

中国专利 :CN206602097U ,2017-10-31

[6]

硅片检测装置 [P].

邢建龙 ;

吴亚兵 ;

刘铜强 ;

吴彤 ;

张治国 .

中国专利 :CN203648868U ,2014-06-18

[7]

硅片检测装置 [P].

陈进进 ;

王宏波 ;

乔勇 ;

谢贤清 .

中国专利 :CN208127148U ,2018-11-20

[8]

一种硅片检测装置 [P].

李志强 .

中国专利 :CN209715770U ,2019-12-03

[9]

一种硅片承载装置及硅片缺陷检测装置 [P].

张婉婉 ;

李阳 .

中国专利 :CN212693817U ,2021-03-12

[10]

一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN217866289U ,2022-11-22

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