硅片检测装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201320882540.8
申请日
2013-12-30
公开(公告)号
CN203648868U
公开(公告)日
2014-06-18
发明(设计)人
邢建龙 吴亚兵 刘铜强 吴彤 张治国
申请人
申请人地址
710100 陕西省西安市长安区航天中路388号
IPC主分类号
B07C534
IPC分类号
G01N1900
代理机构
西安弘理专利事务所 61214
代理人
罗笛
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
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李昶 ;
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[9]
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[10]
硅片检测装置 [P]. 
刘夏初 ;
苗新利 ;
潘加永 .
中国专利 :CN202676615U ,2013-01-16