一种硅片承载装置及硅片缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021002784.9

申请日：

2020-06-04

公开(公告)号：

CN212693817U

公开(公告)日：

2021-03-12

发明(设计)人：

张婉婉李阳

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

IPC主分类号：

G01Q6024

IPC分类号：

G01Q6038

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;胡影

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-12	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片缺陷检测装置 [P].

肖颖婕 ;

刘小宇 ;

黄忆华 ;

张玮华 ;

谢均 .

中国专利 :CN203011849U ,2013-06-19

[2]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[3]

一种硅片缺陷检测装置 [P].

徐爱阳 .

中国专利 :CN211905293U ,2020-11-10

[4]

硅片承载装置和硅片检测方法 [P].

舒斌 ;

刘浩志 ;

栗宏骁 .

中国专利 :CN117672909A ,2024-03-08

[5]

缺陷检测装置及硅片分选设备 [P].

李文 ;

李昶 ;

徐飞 .

中国专利 :CN210571994U ,2020-05-19

[6]

硅片承载装置 [P].

蔡媛媛 ;

徐永帅 .

中国专利 :CN223244520U ,2025-08-19

[7]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 .

中国专利 :CN220382061U ,2024-01-23

[8]

硅片承载装置 [P].

李海楠 ;

王慧杰 ;

张宝庆 ;

刘哲伟 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

王晶晶 .

中国专利 :CN212342589U ,2021-01-12

[9]

硅片承载装置 [P].

刘裕通 .

中国专利 :CN211045391U ,2020-07-17

[10]

硅片棱边缺陷检测装置及硅片分选机 [P].

周禹 ;

付明全 ;

全晓冬 ;

陈康 ;

王成坤 ;

张天华 .

中国专利 :CN222280503U ,2024-12-31

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