一种检测硅片边缘状况的装置

被引：0

申请号：

CN202221770131.4

申请日：

2022-07-11

公开(公告)号：

CN218350119U

公开(公告)日：

2023-01-20

发明(设计)人：

周峰梁兴勃潘建平张海英沈海潮

申请人：

申请人地址：

315800 浙江省宁波市保税区0125-3地块

IPC主分类号：

G01N2184

IPC分类号：

G01N2101

代理机构：

上海泰博知识产权代理有限公司 31451

代理人：

魏峯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片边缘检测机构及检测装置 [P].

刘世挺 ;

李文 ;

谭晓靖 ;

葛建良 ;

徐飞 ;

洪瑞 ;

李昶 ;

韩杰 .

中国专利 :CN215496642U ,2022-01-11

[2]

一种硅片边缘检测系统 [P].

刘玉乾 .

中国专利 :CN216411102U ,2022-04-29

[3]

一种硅片边缘检测组合光源 [P].

牛建蓉 .

中国专利 :CN222838008U ,2025-05-06

[4]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN217344994U ,2022-09-02

[5]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

聂阳 .

中国专利 :CN216542412U ,2022-05-17

[6]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

王新 ;

路一辰 ;

李俊峰 ;

潘紫龙 ;

韩晨华 ;

刘斌 ;

李耀东 .

中国专利 :CN106670938A ,2017-05-17

[7]

一种硅片边缘清洁装置 [P].

李文明 ;

龙科 .

中国专利 :CN220991992U ,2024-05-24

[8]

一种硅片边缘检测装置及方法 [P].

陈伟龙 .

中国专利 :CN117524936A ,2024-02-06

[9]

一种硅片边缘检测装置及方法 [P].

潘凌锋 ;

陈一信 ;

陈浙泊 ;

张一航 ;

白振兴 ;

张东霖 ;

陈镇元 ;

叶雪旺 ;

陈龙威 ;

林建宇 ;

余建安 ;

吴荻苇 .

中国专利 :CN117410193A ,2024-01-16

[10]

一种硅片边缘抛光研磨装置 [P].

曾庆明 ;

赵亮 ;

曾庆华 ;

万明 ;

镇咸生 .

中国专利 :CN222755080U ,2025-04-15

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