一种硅片边缘抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510761527.0

申请日：

2015-11-10

公开(公告)号：

CN106670938A

公开(公告)日：

2017-05-17

发明(设计)人：

王新路一辰李俊峰潘紫龙韩晨华刘斌李耀东

申请人：

申请人地址：

101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

B24B4106 B24B4712

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

刘秀青;熊国裕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-17	公开	公开
2020-06-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 29/02 申请公布日:20170517
2017-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101749202336 IPC(主分类):B24B 29/02 专利申请号:2015107615270 申请日:20151110

共 50 条

[1]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN217344994U ,2022-09-02

[2]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

聂阳 .

中国专利 :CN216542412U ,2022-05-17

[3]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

黄世果 ;

杨佐东 .

中国专利 :CN114147613A ,2022-03-08

[4]

一种硅片边缘抛光装置以及方法 [P].

徐全 .

中国专利 :CN113400176A ,2021-09-17

[5]

一种硅片边缘抛光工艺 [P].

路一辰 ;

王新 ;

李俊峰 ;

潘紫龙 ;

王玥 ;

李耀东 ;

曲翔 ;

史训达 .

中国专利 :CN109894962A ,2019-06-18

[6]

硅片边缘抛光装置、抛光鼓及抛光方法 [P].

白宗权 .

中国专利 :CN112692719A ,2021-04-23

[7]

一种改善硅片边缘抛光质量的方法 [P].

宋同景 ;

路一辰 ;

赵新新 ;

钟耕杭 ;

李磊 ;

张清洋 ;

肖清华 ;

闫志瑞 .

中国专利 :CN118866655A ,2024-10-29

[8]

一种硅片边缘抛光研磨装置 [P].

曾庆明 ;

赵亮 ;

曾庆华 ;

万明 ;

镇咸生 .

中国专利 :CN222755080U ,2025-04-15

[9]

一种边缘抛光硅片吸附装置 [P].

李杰 ;

朱棣 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN210335566U ,2020-04-17

[10]

一种硅片晶圆边缘抛光装置及方法 [P].

任明元 ;

刘文平 ;

梁春 ;

强彦东 .

中国专利 :CN117506689B ,2024-03-22

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