一种硅片边缘抛光研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420602601.9

申请日：

2024-03-27

公开(公告)号：

CN222755080U

公开(公告)日：

2025-04-15

发明(设计)人：

曾庆明赵亮曾庆华万明镇咸生

申请人：

安徽格楠机械有限公司

申请人地址：

241300 安徽省芜湖市南陵县经济开发区夫子岭路9号

IPC主分类号：

B24B9/06

IPC分类号：

B24B37/00 B24B37/11 B24B37/27 B24B47/12

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省安庆市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

李炜 ;

王看看 .

中国专利 :CN217344994U ,2022-09-02

[2]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

聂阳 .

中国专利 :CN216542412U ,2022-05-17

[3]

硅片边缘研磨装置及硅片边缘研磨方法 [P].

靳凌翔 ;

陈曦鹏 ;

孙介楠 .

中国专利 :CN117464487A ,2024-01-30

[4]

一种硅片边缘研磨装置 [P].

叶柯柯 ;

刘晓鹏 .

中国专利 :CN117381585A ,2024-01-12

[5]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

王新 ;

路一辰 ;

李俊峰 ;

潘紫龙 ;

韩晨华 ;

刘斌 ;

李耀东 .

中国专利 :CN106670938A ,2017-05-17

[6]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

黄世果 ;

杨佐东 .

中国专利 :CN114147613A ,2022-03-08

[7]

一种边缘抛光硅片吸附装置 [P].

李杰 ;

朱棣 ;

于友 ;

刘世伟 ;

石坚 .

中国专利 :CN210335566U ,2020-04-17

[8]

一种边缘抛光硅片吸附装置 [P].

马胜南 ;

马胜北 .

中国专利 :CN222768120U ,2025-04-18

[9]

一种硅片研磨抛光机 [P].

吴启祥 .

中国专利 :CN220699226U ,2024-04-02

[10]

一种硅片边缘抛光工艺 [P].

路一辰 ;

王新 ;

李俊峰 ;

潘紫龙 ;

王玥 ;

李耀东 ;

曲翔 ;

史训达 .

中国专利 :CN109894962A ,2019-06-18

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