判断干法去胶工艺稳定性和匹配性的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310631435.1

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN103646896B

公开(公告)日：

2014-03-19

发明(设计)人：

荆泉任昱吕煜坤张旭升

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陶金龙

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-19	公开	公开
2014-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581474983 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2013106314351 申请日:20131129
2016-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

干法工艺稳定性和匹配性的判断方法 [P].

荆泉 ;

任昱 ;

吕煜坤 ;

张旭升 .

中国专利 :CN103646890A ,2014-03-19

[2]

一种应用于干法去胶工艺的匹配验证方法 [P].

荆泉 ;

龚华 .

中国专利 :CN108984913A ,2018-12-11

[3]

一种改善干法去胶工艺均匀性的装置 [P].

张志强 ;

袁康 .

中国专利 :CN217933706U ,2022-11-29

[4]

Z3MS刻蚀后的干法去胶工艺 [P].

缪炳有 ;

徐小诚 .

中国专利 :CN100428420C ,2003-05-21

[5]

兼具高活性和工艺稳定性的炸药及其制备方法 [P].

杨光成 ;

陈瑾 ;

谯志强 ;

黄兵 ;

王军 ;

吴鹏 ;

张丽媛 .

中国专利 :CN106397076A ,2017-02-15

[6]

一种工艺稳定性较好和舒适性较好的防护口罩 [P].

汪胜奇 ;

叶海雁 ;

刘抗 ;

郭瀛军 .

中国专利 :CN214071887U ,2021-08-31

[7]

提高多次曝光稳定性的栅极返工工艺 [P].

张亮 ;

毛智彪 .

中国专利 :CN102446732A ,2012-05-09

[8]

聚合结构的稳定性 [P].

J.M.波利诺 ;

L.克里什纳墨菲 ;

J.C.里特 ;

R.J.杜夫 ;

Y.布伦 ;

Z-Z.黄 ;

Z.殷 .

中国专利 :CN102822254A ,2012-12-12

[9]

基于电容结构的氟注入工艺稳定性测试方法 [P].

郑雪峰 ;

王士辉 ;

王颖哲 ;

吉鹏 ;

王冲 ;

马晓华 ;

郝跃 .

中国专利 :CN107180769A ,2017-09-19

[10]

用于改善热氧化稳定性和颜色稳定性的润滑剂组合物 [P].

朴宰贤 ;

方寿卿 .

中国专利 :CN106604981A ,2017-04-26

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